1.工廠智能化系統(tǒng)FMCS 2.中央動力監(jiān)控系統(tǒng) 3.無塵室環(huán)境控制系統(tǒng) 4.氣體監(jiān)控系統(tǒng) 5.化學供應監(jiān)控系統(tǒng) 6.純水監(jiān)控系統(tǒng) 7.廢水監(jiān)控系統(tǒng) 8.工藝冷卻水監(jiān)控系統(tǒng) | 9.排氣監(jiān)控系統(tǒng) 10.漏液檢測監(jiān)控系統(tǒng) 11.電力監(jiān)控系統(tǒng) 12.能源管理系統(tǒng) 13.空壓及負壓動力監(jiān)控 系統(tǒng) 14.研磨液供應監(jiān)控系統(tǒng) 15.樓宇自控系統(tǒng) |